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阀视液镜球阀截止阀

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　　金融界 2024 年 12 月 9 日音问，国度常识产权局音讯显示，无锡暖芯半导体科技有限公司申请一项名为“一种高精度半导体用恒温 Chiller 造冷体系”的专利，公然号 CN 119085162 A，申请日期为 2024 年 8 月。
　　专利摘要显示，本创造涉及半导体晶圆临蓐情况控温技巧范围，且公然了一种高精度半导体用恒温 Chiller 造冷体系，席卷压缩机，压缩机的出口端上相连管道一，管道一的一端相连冷凝器，冷凝器的出口端相连管道二，管道二的一端相连干燥过滤器，干燥过滤器的出口端上相连管道三管道三的端相连视液镜视液镜的出口端相连管道四，管道四的一端相连电子膨胀阀一。本创造通过分拨管道八中的造冷剂过热蒸汽到电子膨胀阀二和电子膨胀阀三中，电子膨胀阀三内的造冷剂过热蒸汽用于安排蒸发器二内部的蒸发温度，电子膨胀阀二内的造冷剂冷蒸汽用于安排压缩机的吸气温度，如许就能够竣工蒸发温度的动态左右，包管 Coolant 供液温度的宁静性。